ASML, FOM/NWO en UvA/VU plannen oprichting Instituut voor Nanolithografie

24 mei 2013

ASML, de Stichting voor Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM), de Universiteit van Amsterdam (UvA), de Vrije Universiteit Amsterdam (VU) en de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek (NWO) hebben bekend gemaakt dat zij van plan zijn een Instituut voor Nanolithografie (INL) op te richten. Het INL zal fundamenteel en toegepast onderzoek uitvoeren, dat essentieel is voor het ontsluiten van innovatie in de wereldwijde halfgeleiderindustrie. Het instituut zal gevestigd worden op het Science Park Amsterdam.

Nanolithografie

Het onderzoeksprogramma van het INL zal zich in eerste instantie richten op de fysieke en chemische processen die cruciaal zijn voor Extreem Ultraviolet (EUV) lithografie. Dit is een toonaangevende technologie voor het produceren van computerchips en is onmisbaar voor innovatie in de wereldwijde halfgeleiderindustrie. Naar verwachting zal het instituut belangrijke bijdragen leveren aan halfgeleiderlithografie, de belangrijkste technologie voor het maken van geheugenchips en processors in PC's, smartphones en tablets. In de beginfase zal het instituut zich richten op de fysica van EUV-licht, infraroodlaserfysica, (oppervlakte)fysica van clusters en radicalen en nanofotochemie.

ASML zal meer dan een derde van het jaarlijkse budget van het instituut bijdragen en investeert hiermee circa 30 miljoen euro over een periode van 10 jaar. FOM en NWO zullen 25 miljoen euro bijdragen, verdeeld over 10 jaar, en UvA/VU dragen 12,5 miljoen euro bij. De Gemeente Amsterdam heeft 5 miljoen euro toegezegd als opstartfinanciering. Het ligt in de lijn der verwachting dat het instituut baat zal hebben bij de stimuleringsmaatregelen van de overheid voor privaat-publieke samenwerking (TKI-toeslag) en dat het instituut nog 25 miljoen euro kan verwerven via andere financieringsinstrumenten, zoals Europese programma’s. Alles bij elkaar gaat het om een bedrag van 100 miljoen euro over een periode van 10 jaar.

Het instituut zal in het derde kwartaal van 2013 van start gaan onder leiding van het FOM-instituut AMOLF. Tegen 2015 zal het een onafhankelijk instituut geworden zijn, dat wordt bestuurd door FOM in samenwerking met de UvA en de VU, en dat ongeveer honderd hooggekwalificeerde wetenschappers en ondersteunende werknemers in dienst zal hebben, waaronder hoogleraren, postdocs, oio's, afstudeerstudenten en technici. Het instituut zal gehuisvest worden op het Science Park Amsterdam. Dit zorgt voor een inbedding tussen andere pionierende onderzoekers, in een omgeving die ideaal is voor samenwerking en uitwisseling van ideeën. Het instituut zal nauw samenwerken met de onderwijsprogramma’s van de gezamenlijke wetenschapsfaculteiten van de UvA en de VU.

'Naast onze bestaande samenwerking met universiteiten en onderzoeksinstituten ziet ASML de noodzaak voor fundamenteel lange-termijnonderzoek in nanolithografie, dat zich niet richt op het maken van een concreet product, maar op het verkennen van technologische mogelijkheden. Dit instituut met zijn brede onderzoeksagenda zal het kennisnetwerk op het gebied van nanolithografie uitbreiden en bijdragen aan innovatie in de halfgeleiderindustrie,' aldus Martin van den Brink, Executive Vice President en Chief Product and Technology Officer bij ASML.

'De samenwerking tussen ondernemers en onderzoekers is van cruciaal belang om aan de top te blijven,' zegt Henk Kamp, Minister van Economische Zaken. 'Met dit instituut kan ASML de groeiende competitie aan en zijn wereldwijde marktpositie verder versterken.'

'Met dit instituut geven we een belangrijke nieuwe impuls aan het topsectorenbeleid in Nederland, dat gericht is op de impact van wetenschap op onze technologiebasis en economie. De brainstormsessies die wetenschappers organiseerden in voorbereiding van de onderzoeksvoorstellen voor dit instituut hebben al verschillende ideeën opgeleverd die tot nieuwe technologische mogelijkheden kunnen leiden. Ik heb er alle vertrouwen in dat dit instituut een voorbeeld zal worden van het bereiken van een win-win situatie voor wetenschap en het bedrijfsleven,' volgens Wim van Saarloos, directeur van FOM.

Jos Engelen, Voorzitter van het Algemeen Bestuur van NWO, voegt toe: 'Dit initiatief sluit aan bij de ambitie van NWO om betrokken te zijn bij langdurige publiek-private samenwerkingsprogramma's en om het private bedrijfsleven aan te moedigen om haar bijdrage aan het financieren van wetenschappelijk onderzoek in ons land te vergroten. We zijn er trots op dat ASML deze samenwerking met FOM/NWO heeft gezocht.'

Albert Polman, directeur van FOM-instituut AMOLF: 'De missie van AMOLF is om nieuwe onderzoeksrichtingen, die van belang zijn voor wetenschap en industrie in Nederland, een impuls te geven. Onze coördinatie van het Amsterdamse bod voor het INL, is daar een mooi voorbeeld van en AMOLF is zeer toegewijd om van dit nieuwe instituut een succes te maken.'

Over ASML

ASML is een wereldwijde marktleider op het gebied van lithografiesystemen voor de halfgeleiderindustrie en maakt complexe machines die essentieel zijn voor het produceren van geïntegreerde schakelingen of chips. ASML heeft zijn hoofdkantoor in Veldhoven. Op Euronext Amsterdam en NASDAQ wordt het verhandeld onder het symbool ASML. ASML heeft 8.625 werknemers in dienst (uitgedrukt in fte's) en levert aan chipproducenten op meer dan 55 locaties in 16 landen. Meer informatie over het bedrijf, producten en carrièremogelijkheden is te vinden op de website: www.asml.com.

Over FOM/AMOLF

De Stichting Fundamenteel Onderzoek der Materie (FOM, www.fom.nl) stimuleert, coördineert en financiert fundamenteel fysisch onderzoek in Nederland en is onderdeel van het gebied Natuurkunde van de Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek (NWO, www.nwo.nl). Het jaarlijkse budget van FOM is 99 miljoen euro. AMOLF (www.amolf.nl) is één van de drie onderzoeksinstituten van FOM. AMOLF is gehuisvest op Science Park Amsterdam en voert onderzoek uit op het gebied van nano/biowetenschappen en nanotechnologie. AMOLF is befaamd voor zijn vermogen om nieuwe onderzoeksgebieden te identificeren en te initiëren die van strategisch belang zijn voor de Nederlandse wetenschap en het bedrijfsleven. Ongeveer tweehonderd mensen werken op het instituut, waaronder meer dan honderd oio's en postdocs. AMOLF coördineerde het Amsterdamse bod voor het INL.

Over NWO

De Nederlandse Organisatie voor Wetenschappelijk Onderzoek (NWO) is met een budget van ruim 500 miljoen euro per jaar een van de grootste wetenschapsfinanciers in Nederland. NWO stimuleert kwaliteit en vernieuwing in de wetenschap door het beste onderzoek te selecteren en financieren. NWO beheert onderzoeksinstituten van (inter)nationaal belang, geeft mede richting aan het wetenschappelijk onderzoek in Nederland en brengt wetenschap en maatschappij dichter bij elkaar. Onderzoeksvoorstellen worden beoordeeld en geselecteerd door vooraanstaande wetenschappers uit binnen- en buitenland. Dankzij financiering van NWO kunnen meer dan 5.000 wetenschappers onderzoek doen.

Over Universiteit van Amsterdam en Vrije Universiteit Amsterdam

Universiteit van Amsterdam en Vrije Universiteit Amsterdam zijn toonaangevende internationale onderzoeks- en onderwijsinstellingen. In 2012 zijn beide universiteiten de Amsterdam Academic Alliance (AAA) aangegaan en hebben ze een start gemaakt met de vorming van een geïntegreerde wetenschapsfaculteit. Deze gezamenlijke faculteit zal op twee hoofdlocaties gevestigd worden (Science Park, Zuidas) en zal meer dan 900 wetenschappelijke en ondersteunende medewerkers omvatten en 10.000 studenten. Het jaarlijkse budget van de gezamenlijke UvA en VU wetenschapsfaculteiten is 250 miljoen euro. Het zal Amsterdam op de kaart zetten als een van de belangrijkste wetenschapssteden op het Europese vasteland.

Noot voor de redactie

Vertegenwoordigers van ASML, AMOLF en FOM zijn beschikbaar voor interviews over het INL. Voor het maken van een afspraak kunt u contact opnemen met:

  • ASML Corporate Communications, tel.: 040 268 78 70, e-mail: corpcom@asml.com
  • AMOLF: prof. dr. Albert Polman (directeur AMOLF, vertegenwoordigt het INL), e-mail polman@amolf.nl
  • FOM: dr. ir. Wim van Saarloos (director FOM), tel.: 030 600 12 26, e-mail: wim.van.saarloos@fom.nl

Bron: NWO